Сістэмы лінейнага руху - якія складаюцца з падставы або корпуса, накіроўвалай сістэмы і механізму прывада - даступныя ў шырокім выбары канструкцый і канфігурацый, якія падыходзяць практычна для любога прымянення.І паколькі іх канструкцыі вельмі разнастайныя, іх часта класіфікуюць у адпаведнасці з асноўнымі прынцыпамі канструкцыі і працы.Прыклад: тэрмін «прывад» звычайна адносіцца да сістэмы лінейнага руху з алюмініевым корпусам, які ахоплівае накіроўвалы і прывадны механізмы;сістэмы, якія называюцца «сталамі» або «XY-сталамі», звычайна канструююцца з плоскай базавай плітой, да якой усталёўваюцца накіроўвалыя і прывадныя кампаненты;і «лінейны этап» або «лінейны этап перакладу» звычайна адносіцца да сістэмы, падобнай па канструкцыі да лінейнага стала, але распрацаванай для мінімізацыі памылак у пазіцыянаванні і руху.
Сістэмы лінейнага руху могуць выяўляць тры тыпы памылак: лінейныя памылкі, вуглавыя памылкі і плоскія памылкі.
Лінейныя памылкі - гэта памылкі ў дакладнасці пазіцыянавання і паўтаральнасці, якія ўплываюць на здольнасць сістэмы дасягнуць жаданага становішча.
Вуглавыя памылкі, якія звычайна называюць нахілам, тангажам і гойсаньнем, ўключаюць кручэнне вакол восяў X, Y і Z адпаведна.Вуглавыя памылкі могуць прывесці да памылак Абэ, якія ўяўляюць сабой вуглавыя памылкі, узмоцненыя адлегласцю, напрыклад, адлегласцю паміж лінейнай накіроўвалай (крыніцай вуглавой памылкі) і кропкай інструмента вымяральнай прылады.Важна адзначыць, што вуглавыя памылкі прысутнічаюць, нават калі сцэна не рухаецца, таму яны могуць негатыўна паўплываць на статычныя аперацыі, такія як вымярэнне або факусоўка.
Плоскасныя памылкі ўзнікаюць у двух кірунках — адхіленні ў ходзе ў гарызантальнай плоскасці, што называецца прамалінейнасцю, і адхіленні ў ходзе ў вертыкальнай плоскасці, што называецца плоскасцю.
Хаця няма правілаў або строгіх рэкамендацый адносна таго, што ўяўляе сабой лінейны этап, яны шырока прызнаны як найбольш дакладная катэгорыя сістэм лінейнага руху.Калі сістэму называюць лінейнай прыступкай, звычайна разумеецца, што сістэма будзе забяспечваць не толькі высокую дакладнасць пазіцыянавання і паўтаральнасць, але таксама нізкія вуглавыя і плоскасныя памылкі.Для дасягнення такога ўзроўню прадукцыйнасці вытворцы звычайна прытрымліваюцца некалькіх прынцыпаў у плане канструкцыі і тыпу кампанентаў, якія выкарыстоўваюцца ў канструкцыі сцэны.
У гэтай лінейнай ступені выкарыстоўваюцца рэцыркуляцыйныя падшыпнікі з прафіляванымі рэйкамі з прывадам ад лінейнага рухавіка.
Па-першае, у адрозненне ад іншых сістэм лінейнага руху, якія звычайна выкарыстоўваюць алюмініевую экструзію або пласціну ў якасці асновы, лінейная ступень пачынаецца з дакладна адшліфаванай асновы.Прыступкі, прызначаныя для максімальнай роўнасці, прамалінейнасці і цвёрдасці, часта выкарыстоўваюць аснову са сталі або граніту, хоць у некаторых канструкцыях выкарыстоўваецца алюміній.Сталь і граніт таксама маюць больш нізкія каэфіцыенты цеплавога пашырэння, чым алюміній, таму яны дэманструюць лепшую стабільнасць памераў у асяроддзях з экстрэмальнымі або рознымі тэмпературамі.
Сістэма лінейных накіроўвалых таксама спрыяе прамалінейнасці і плоскасці ходу, таму ў якасці накіроўвалых механізмаў для лінейнай ступені з'яўляюцца высокадакладныя прафіляваныя рэйкі,перакрыжаваныя ролікавыя горкі, абопаветраныя падшыпнікі.Гэтыя накіроўвалыя сістэмы таксама забяспечваюць вельмі жорсткую падтрымку для памяншэння вуглавых памылак, якія могуць прывесці да памылак Абэ, калі існуе зрушэнне паміж пачаткам памылкі (накіроўвалай) і пунктам цікавасці (кропкай інструмента або становішчам нагрузкі).
У той час як многія тыпы сістэм лінейнага руху выкарыстоўваюць высокадакладныя механізмы прывада, лінейныя прыступкі ў пераважнай большасці выкарыстоўваюць адну з дзвюх тэхналогій: высокадакладны шарыкавы шруба або лінейны рухавік.Лінейныя рухавікі звычайна забяспечваюць найвышэйшы ўзровень дакладнасці пазіцыянавання і паўтаральнасці, паколькі яны ліквідуюць згодлівасць і люфт, уласцівыя механічнай трансмісіі і сувязі паміж прывадам і рухавіком.Для асобнага выпадку субмікронных задач пазіцыянавання,пьезоприводыаборухавікі з гукавымі шпулькамізвычайна з'яўляюцца абранымі прываднымі механізмамі з-за іх вельмі дакладнага, паўтаральнага руху.
Нягледзячы на тое, што тэрмін «лінейная прыступка» мае на ўвазе сістэму руху па адной восі, прыступкі могуць быць аб'яднаны ў шматвосевыя сістэмы, такія як прыступкі XY,плоскасныя этапы, і партальныя этапы.
Гэтая двухвосевая партальная ступень выкарыстоўвае пнеўматычныя падшыпнікі і лінейныя рухавікі на керамічнай аснове.
Крэдыт выявы: Aerotech
Час публікацыі: 29 сакавіка 2023 г