Спецыфікацыя | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (паветраны падшыпнік) |
Тып рухавіка | Трохфазны безжалезный рухавік | Матор галасавой шпулькі+ |
дазвол | Лічбавая велічыня па змаўчанні 100 нм | 1vpp да 5 нм |
Цяга рухавіка | Бесперапынны 60N/пікавы 210N | Бесперапынны 60N/пікавы 210N |
Мінімальны памер кроку [нм] | 200 нм | 100 нм |
Ход [мм] | 200×200 | 10 |
Паўтаральнасць [гм] | ±0,3 | |
Дакладнасць месцазнаходжання [гм] | ±1 | ±0,5 |
Плоскасць [гм] | 10 мкм | 5 мкм |
Прамалінейнасць [гм] | 1 мкм | 1 мкм |
Максімальная хуткасць [мм/с] | 500 мм/с | 30 мм/с |
Грузападымальнасць [кг] | 5 кг (вось Z з пнеўматычным балансам пастаяннай сілы) |